发 明 人：阿藤浩司;户川哲二

脱水干燥方法脱水和干燥衬底。在不旋转的情况下脱水和干燥衬底（15）同时衬底（15）容纳在用来在用于执行一些处理的装置间承载衬底（15）的载体（10）中。 　

权利要求

一种用于脱水和干燥衬底的脱水干燥方法，包括：脱水和干燥衬底，同时将衬底容纳在用来承载衬底的载体中。